نفق تبريد بلوك الويفر
- وهو عبارة عن مبرد يستخدم لتقليل كتل الويفر المغطاة بالكريمة إلى درجات حرارة معينة من خلال أنظمة التبريد.
- يمكن تعديله خصيصًا وفقًا لسعة الخط.
- تختلف قدرة التبريد حسب السعة، حيث تبدأ من 18000 كيلو كالوري/ساعة على الأقل.
- يعمل النظام بطريقة التوقف والذهاب.
- التفريغ التلقائي متاح عبر أجهزة الاستشعار.
